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    高精密气浮平台系统

    高精密气浮平台系统

    High precision air floating platform system

     产品介绍:

    C9000H直线万博体育下载苹果版驱动空气轴承平台在垂直表面和水平表面一并采用了有效的预加载处理。它可提供突出的高刚性,是重载和偏置负载应用的理想选择。内置的直线伺服万博体育下载苹果版采用了零齿槽效应的无铁芯结构,无吸引力,提供非常卓越的平滑运动。

     

    性能指标:

    行程范围:  50 mm\ 100 mm\ 200 mm\ 300 mm\ 400 mm\ 500 mm  
    驱动系统:  直线伺服万博体育下载苹果版 (PAEKER-9000-A-668H)
    反馈:  非接触直线光栅尺
    分辨率: 0.001 μm -0.2 μm  
    最大行程速度:  3m/s (80 in/s)
    最大直线加速度:  2 g -20 m/s2  (无负载)
    最大负载:  55.0 kg
    连续保持推力:  153.6 N
    峰值推力:  742.8 N
    全行程精度:   ±0.2 μm ~ ±20.0 μm   
    重复定位精度:  ±0.1 μm~±0.3 μm 
    直线度和平面度: 最大偏差  ±0.25 μm ~ ±2.0 μm
    倾斜度/滚摆/偏摆: ±0.5 arc sec ~ ±5 arc sec 
    空气轴承工作压力: 80 psi (5.5 bar) ±5 psig (0.3 bar)
    空气消耗量: <2 scfm
    平台质量: 120.7 kg ~ 156.5 kg